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盛美半导体设备（上海）股份有限公司                      （截至授予日）   一、限制性股票激励计划分配情况表        本激励计划授予的限制性股票在各激励对象间的分配情况如下表所示：                                 获授限制性 占本次授予限                                                         占本次授予时       姓名       国籍      职务       股票数量       制性股票总数                                                         股本总额比例                                 （万股）         比例一、董事、高级管理人员、核心技术人员（2人）                      副总经理、核心技       王俊       中国                1.8760     0.9238%      0.0039%                        术人员   杨霞云          中国    职工代表董事      1.2500     0.6155%      0.0026%二、董事会认为需要激励的其他人员（506人）核心管理（业务）骨干、中层管理（业务）人员、            优秀基层技术（业务）员工                 合计              203.0820   100.0000%     0.4208%   二、相关说明股票数量累计均未超过公司股本总额的1%。公司全部在有效期内的股权激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东会时公司股本总额的公司5%以上股份的股东、公司实际控制人及其配偶、父母、子女。四舍五入所造成。                              盛美半导体设备（上海）股份有限公司                                                            董事会